製品一覧

豊富な経験と知識がいかされた高次元チラー

高温チラー 成膜装置向け

型式 MP-21418ZG1-RV1
適用温度範囲 40~150℃
温度制御精度 ±0.5℃
冷却能力 10kW以上 at 80℃(冷却能力)
ポンプ能力 20L/min at 0.5MPa(フッ素系熱媒体対応)
サイズ W530×D530×H1090

中温チラー プラズマエッチング装置向け

型式 MW-1500BG2-NTMV1
適用温度範囲 ±0~85℃、40〜85℃
温度制御精度 ±0.5℃
冷却能力 4000W at 20℃(冷却能力)
ポンプ能力 17L/min at 0.4MPa(フッ素系熱媒体対応)
冷凍機有無の組み合わせが可能、2ch仕様
サイズ W640×D850×H900

低温チラー プラズマエッチング装置向け

型式 MW-1500CG1-HPV1
適用温度範囲 -60~30℃
温度制御精度 ±0.5℃
冷却能力 1000W at -50℃(冷却能力)
ポンプ能力 8L/min at 0.4MPa(フッ素系熱媒体対応)
サイズ W600×D865×H1160

試験装置向けチラー 自動車部品試験用

型式 MW-11250CA3-NTV1
適用温度範囲 -40~50℃
温度制御精度 ±3℃
冷却能力 7.7kW at -30℃ ×3系統
ポンプ能力 ポンプ非搭載

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